微波等离子清洗机利用2.45GHz微波激发高密度等离子体,通过物理轰击与化学反应双重作用,实现材料表面纳米级深度清洁、有机物分解及亲水活化。设备工作温度<60℃,无电极污染,支持氧气、氩气等多气体精准控制,显著提升半导体键合强度、医疗植入物生物相容性及高分子材料粘接可靠性。
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